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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> XD-102.Z系列压电纳米定位台
XD-102 系列压电扫描台具有两个版本，分别为二维 XY向运动、一维 Z 向运动。两个版本在四个角的位置都具有四个通孔，孔心距为 30mm，非常适于笼式结构的安装。XY运动版本额外具有四个沉孔，也适于螺纹安装固定。
特点
• 二维XY向运动，行程15μm/轴 • 承载0.2kg • 椭圆通孔尺寸为25×27.5mm • 亚纳米级分辨率 • 响应速度快
产品运动示意图
应用
• 图像处理与稳定 • 红外热成像 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术
技术参数
型号 |
XD-102.Z |
单位 |
|
运动自由度 |
Z |
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行程范围 |
8 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS |
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闭环分辨率 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.25 |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.16 |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
μrad |
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承载能力 |
200 |
g |
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闭环响应时间 |
20 |
ms±20% |
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空载谐振频率 |
3.6 |
kHz±20% |
|
加载谐振频率 |
1.5（200g） |
ms±20% |
|
静电容量 |
1.6 |
μF±20% |
|
重量 |
128.5 |
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尺寸图
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