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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P11系列压电纳米定位台
特点
• 三维 XYZ 向运动 • 行程范围 X180/Y180/Z300μm • 承载能力 200g • 开 / 闭环版本可选
技术参数（三维XYZ运动）
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型号 |
XD601.XYZ100S XD601.XYZ100K |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y、Z |
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标称行程范围（0 ~+120 V） |
X130/Y130/Z250 |
μm±20% |
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行程范围（0~+150 V） |
X180/Y180/Z300 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
XY：7/2，Z:10/4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.4 |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.1 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X200/Y180/Z200 |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.2 |
kg |
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静电容量 |
X2.2/Y2.2/Z7 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
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尺寸图
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| Step |
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