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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P66.X60系列压电纳米定位台
P66.X60压电纳米定位台以压电陶瓷为驱动源并采用直驱式驱动机构的压电位移平台，是压电与柔性铰链相结合的纳米定位系统，可达毫秒级响应、纳米级定位精度，并可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。该产品非常适于定位应用，如干涉中光路径长度修正、显微或扫描应用中的样品定位等。
特点
• 位移60μm • 承载能力6kg • 亚毫秒响应时间 • 开闭环可选
开闭环版本可选
P66系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本压电纳米定位台内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。
传感器使用全桥配置已消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现较高的线性度与重复度。
应用
• 干涉/扫描 • 计量 • 质量保证测试 • 微加工/精密控制 • 光盘驱动测试 • 半导体技术
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P66.X60S |
单位 |
运动自由度 |
X |
|
|
行程（0~120V） |
48 |
μm±20% |
|
行程（0~150V） |
68 |
μm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
闭/开环分辨率 |
2/0.8 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05 |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
µrad |
|
推/拉力 |
160/16 |
N |
|
运动方向刚度 |
2.8 |
N/μm±20% |
|
空载谐振频率 |
1.3 |
kHz±20% |
|
闭/开环空 |
10 |
ms±20% |
|
闭环空载 |
10%行程 |
200/>200 |
Hz±20% |
100%行程 |
20/>20 |
||
承载能力 |
6 |
kg |
|
静电容量 |
7.2 |
μF±20% |
|
材质 |
铝 |
|
|
重量 |
190 |
g±5% |
|
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
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