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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P13系列压电纳米定位台
P13 系列压电纳米定位台为二维 XY、三维 XYZ 压电 平台，台体采用平行运动学机构放大设计原理，内置高性 能压电陶瓷，最大位移为 37.5μm/ 轴。开环闭环版本可 供选择。产品主要应用于光学显微、生物科技等领域。
特点
• 2~3 维运动 • 位移行程 37.5μm • 体积小巧 • 毫秒级响应时间
二、三维平移台
P13 压电纳米定位台，包括二维 XY 轴、三维 XYZ 轴两个规 格型号。
闭环阶跃稳定时间图
P13.XY闭环版本满行程的稳定时间约为30ms。
产品运动示意图
频率负载曲线
超小体积、无机械间隙、高分辨率
固态铰链平行四边形设计原理，平行运动无机械间隙，该结 构原理使其具有非常高的分辨率，运动直线性好。 P13 系列压电纳米定位台可以很容易的安装到其他的定位系 统并且可以配置传感测量装置（应变计传感器）消除压电陶瓷的 迟滞与蠕变特性。 P13 压电平移台适用于动态使用，是扫描应用的理想选择。
应用
• 2D扫描系统 • 光路调整 • 微操作 •原子力显微镜 • 纳米定位 • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 • 微加工/精密控制
技术参数（三维XYZ运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P13.XYZ40S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
30 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
37.5 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
分辨率 |
1.5/0.7 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
8/3 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.1/Y0.15/Z0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.35/Y0.4/Z0.58 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/3 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
35/>35 |
Hz±20% |
100%行程 |
3/>3 |
||
承载能力 |
0.05 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
0.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
30×30×30 |
mm |
|
重量 |
220 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
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技术参数（二维XY运动）
型号 |
尾缀S-闭环 |
P13.XY40S |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X、Y |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
30 |
µm/轴±20% |
|
行程范围 |
37.5 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
分辨率 |
1.5/0.7 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<5 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
5/2 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.15/Y0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.45/Y0.55 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/2 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
5/>5 |
||
承载能力 |
0.05 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
0.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
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|
外形尺寸 |
26×26×16 |
mm |
|
重量 |
110 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
P13.XYZ尺寸图如下：
| P13.XYZ尺寸图下载 | ||
| Auto CAD PDF | ||
| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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P13.XY尺寸图如下：
| 尺寸图下载 | ||
| Auto CAD PDF | ||
| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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