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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P16系列压电纳米定位台
P16系列压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为20mm，该系列扫描台有50μm与100μm两种规格行程可选，开环、闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。
P16.XY100为二维XY轴压电扫描台，运动范围为100μm/轴，产品结构紧凑，中心大透光孔，适合于显微及扫描中的样品定位。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品可实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间。
特点
• 二维XY向运动，行程100μm/轴 • 承载1.5kg • 台体中心圆形通孔，孔径为Φ20mm • 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选
台体采用放大机构设计，运动行程范围大
产品运动示意图
刚度大、谐振频率高、负载能力大
P16.XY扫描台的位移行程可选50或100μm，一体式结构设计XY轴运动无耦合，优异的结构可以承载1.5kg的负载，空载谐振频率可高达400Hz。
P16.XY版本为中心对称运动方式，需配套带有一通道 恒压的三通道压电控制器。
P16.XY二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm，该系列压电扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成像等领域。
应用实例-镜架二维XY调节
P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点，应用于光路调整实验中，带载大镜架做XY轴精密运动。
频率负载曲线
平稳和准确的扫描圆形驱动
精准圆形驱动控制，可以通过精切定位XY平台的每一轴，采用正弦波90°相差输入，也可以通过PID修正位移进行调整，根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳准确。
应用
• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
技术参数(P16.XY100，100μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P16.XY100S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y |
|
|
运动和定位 |
|||
0~120V行程范围 |
80或±40 |
µm/轴±20% |
|
0~150V行程范围 |
100或±50 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø20 |
mm |
|
分辨率 |
10/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.4/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<25 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/30 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.5/Y0.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.4/Y0.4 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10/1.6 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
100/>100 |
Hz±20% |
100%行程 |
40/>40 |
||
承载能力 |
1.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
3.6 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
60×60×20 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P16.XY50，50μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P16.XY50S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X、Y |
|
|
运动和定位 |
|||
0~120V标称行程范围 |
40 |
µm/轴±20% |
|
0~150V行程范围 |
50 |
µm/轴±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
Ø20 |
mm |
|
分辨率 |
10/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.4/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
X0.5/Y0.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
X0.2/Y0.2 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
10/0.8 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
20/>20 |
||
承载能力 |
1.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
1.8 |
μF/轴±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸 |
60×60×20 |
mm |
|
重量 |
200 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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