 |
压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >>XP-780系列系列压电纳米定位台
XP-780系列压电扫描台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴200μm的位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
特点
• 一维X向运动，行程可达200μm • 承载可达5kg • 通孔尺寸：25×25mm • 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选
产品运动示意图
采用放大机构设计，运动行程范围大
大行程、高精度、大负载
XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现200μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向机构使其具有高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
优异的结构设计使其具有高的刚度，承载能力大， 可带载5kg的样品作精密定位。
出厂检验测试
频率负载曲线
1-3维扫描台
XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格型号，可以自由叠加组合。
应用
• 精密定位 • 光学显微成像 • 细胞穿透 • SPM扫描显微镜 • 干涉 • 掩模/晶圆定位 • 计量 • 生物技术 • 表面结构分析
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-780.XS |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
X |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围（0~120V） |
160 |
µm±20% |
|
行程范围（0~150V） |
200 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
25×25 |
mm |
|
分辨率 |
10/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<50 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
80/40 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.5 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.2 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
20/5 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
||
承载能力 |
5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
11 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸（长×宽×高） |
100×100×20 |
mm |
|
重量 |
240 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
尺寸图
| 尺寸图下载 | |||
| Auto CAD PDF | |||
| Step |
|
||
| 参数表/Specs Sheet |
|
||
联系我们
哈尔滨芯明天科技有限公司
总机：0451-86268790
传真：0451-86267847
邮箱：info@coremorrow.com
网址：www.coremorrow.com
地址：黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层
| 关于我们 | 产品中心 | 产品应用 | 联系我们 |
请关注芯明天微信公众号或芯明天官网：www.coremorrow.com www.coremorrow.cn获取更多信息。
