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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >>P78.Z200/300系列系列压电纳米定位台
P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现Z轴187.5μm或262.5μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。
P78.Z300为一维Z轴压电扫描台，中心具有通孔，扫描范围可达262.5μm，闭环扫描台精度更高，直线运动无偏航。
特点
• 一维Z向运动，行程187.5或262.5μm可选 • 通孔直径：64×64mm • 亚纳米级分辨率 • 开环、闭环可选 • 闭环重复定位精度高
产品运动示意图
机构放大式驱动设计，行程范围大
大通孔、大位移、高分辨、高精度
P78.Z300压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现Z轴262.5μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构 采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应 时间。
P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器，对位移实现实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制。扫描台台体中心通孔尺寸64×64mm，适用于干涉、扫描、表面检测等应用。
频率负载曲线
闭环重复定位精度高
P78.Z300压电扫描台满幅值262.5μm的闭环重复定位精度为 0.05%。
应用
• AFM • 移相器 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术
技术参数(P78.Z300，187.5μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P78.Z200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
150 |
µm±20% |
|
行程范围 |
187.5 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
64×64 |
mm |
|
分辨率 |
7/3 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.04/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
50/8 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.35 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
15/3.2 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
80/>80 |
Hz±20% |
100%行程 |
15/>15 |
||
承载能力 |
1.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
7.2 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
|
|
外形尺寸 |
100×100×30 |
mm |
|
重量 |
340 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
||
技术参数(P78.Z300，262.5μm)
型号 |
尾缀S-闭环 |
P78.Z300S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
|
|
运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
210 |
µm±20% |
|
行程范围 |
262.5 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
64×64 |
mm |
|
分辨率 |
10/5 |
nm，typ. |
|
闭环线性度 |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<30 |
µrad |
|
机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
30/5 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.15 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.15 |
kHz±20% |
|
空载阶跃时间 |
30/3.2 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
50/>50 |
Hz±20% |
100%行程 |
10/>10 |
||
承载能力 |
0.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
|||
静电容量 |
7.2 |
μF±20% |
|
其他 |
|||
工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
铝 |
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|
外形尺寸 |
100×100×30 |
mm |
|
重量 |
340 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet |
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