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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P77-D6压电纳米定位台/移相器
P77-D6 系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 20µm，负载能力达 3kg，非常适于镜头 的光学检测设备。
特点
· 行程范围：0~20µm · 孔尺寸：Φ65mm · 负载能力：3kg · 外形尺寸：Φ105×35mm
30nm 步进曲线
应用
• 图像处理与稳定 • 移相器 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术
技术参数
型号 |
P77-D6 |
单位 |
完整型号 |
P77.Z20K-D6 |
|
运动自由度 |
Z |
|
行程范围 |
0~20 |
µm±20% |
静电容量 |
1.8 |
μF±20% |
承载能力 |
3 |
Kg |
外形尺寸 |
φ105×35 |
mm |
通孔尺寸 |
Ø65 |
mm |
重量 |
0.67 |
kg±5% |
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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