压电 纳米 定位

产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P77-D5压电纳米定位台/移相器

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P77.D5压电式移相器的孔径为210mm，非常适于大口径光学平面检测。

特点

· 行程可达17.5μm · 承载可达10kg · 尺寸265×265×35mm · 通孔直径Ø210mm · 可正立/侧卧/倒置使用

应用

• 图像处理与稳定 • 移相器 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术

技术参数

型号	P77-D5	单位
完整型号	P77.Z20K-D5-T210
运动自由度	Z
行程范围 （0~120V）	14	µm±20%
行程范围 （0~150V）	17.5	µm±20%
分辨率	0.5	nm，typ.
俯仰/偏航/滚动	<10	µrad
空载谐振频率	0.1	kHz±20%
空载阶跃时间	2.5	ms±20%
承载能力	正立10 /卧式5 /倒置5	Kg
静电容量	5.4	μF±20%
工作温度范围	-20~80	°C
材质	钢、铝
外形尺寸 （长×宽×高）	265×265×35	mm
通孔尺寸	Ø210	mm
重量	3000	g±5%
出线长	1.5	m±10mm
传感/电压连接器	LEMO
使用方式	正立/倒置/卧式
控制	1或3路控制

注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。

尺寸图

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