P66系列压电纳米定位台-芯明天

压电纳米定位

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N60一维X轴运动压电定位台，机构采用放大式结构设计，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有可靠性，可集成到其他扫描装置中。

N60一维X轴压电平移台，内置高性能压电陶瓷可以实现X轴30μm的位移，优异的机构放大设计原理，X轴运动直线性好，开环闭环可选，产品体积小巧、结构紧凑、集成度高，是小体积高精度一维精密定位的理想选择。台面具有两个负载安装螺纹孔，便于安装负载。

特点

• 一维X轴运动 • 位移行程30μm • 超小体积 • 承载0.5kg • 纳米级定位精度

1-3 维平移台

根据运动自由度及运动方向，N60 系列可分为以下五个型号： N60.X（X 向运动）、N60.Z（Z 向运动）、N60.XY（XY 向运动）、 N60.XZ（XZ 向运动）、N60.XYZ（XYZ 向运动），每轴的行程可达34μm。

高分辨率

N60配套E53压电控制器，可实现0.5nm的步进分辨率。

产品运动示意图

频率负载曲线

高稳定性、高谐振频率、体积小巧

N60采用机构放大设计原理，一维X轴运动行程30μm，体积小巧、结构紧凑，尺寸为28╳28╳12.5mm。

N60压电纳米定位台采用机构放大设计原理，优异的结构设计，无摩擦无后坐力，具有高的分辨率以及良好的动态性能，空载谐振频率达1800Hz。

产品稳定性好、无漂移、使用寿命长，体积小巧，方便与其他系统结构进行集成安装等优异的性能使其适合于光学显微扫描、精密加工、微操作等应用。

应用

• 光纤定位/光学扫描 • 纳米压印 • 纳米计量 • 微操控 • 纳米光刻 • 干涉法/ 扫描显微 • 纳米定位 • 生物技术 • 半导体技术 • 质量保证测试 • 微加工/精密控制

技术参数

型号	尾缀S-闭环	N60.X30S N60.X30K	单位
	尾缀K-开环
运动自由度		X
运动和定位
标称行程范围（0~120 V）		24	µm±20%
行程范围（0~150V）		30	µm±20%
传感器类型		SGS/-
分辨率		1/0.5	nm，typ.
闭环线性度		0.5/-	%F.S.
重复定位精度		0.3/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<10	µrad
机械性能
运动方向推/拉力		8/2	N
运动方向刚度		0.6	N/µm±20%
空载谐振频率		1.8	kHz±20%
闭/开环空载阶跃时间		10/2	ms±20%
闭环空载工作频率*	10%行程	100/>100	Hz±20%
	100%行程	10/>10
承载能力		0.5	kg
驱动性能
静电容量		0.8	μF±20%
其他
工作温度范围**		-20~80	°C
材质		铝
外形尺寸（长×宽×高）		28×28×12.5	mm×mm×mm
重量		80	g±5%
出线长		1.5	m±10mm
传感/电压连接器***		LEMO
注：驱动电压可在0~150V使用；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。