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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> XD103 系列低温强磁版本压电纳米定位台
特点
• 耐低温可达 4K • 耐强磁 • 4K 温度下位移达 10μm@150V • 分辨率可达 0.5nm • 开环驱动，快速响应
技术参数
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参数 |
参数 低温强磁版本压电纳米定位台 |
单位 |
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使用温度 |
常温 |
4K |
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运动方向 |
X、Y |
X、Y |
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标称行程范围 |
50 (0~60V) |
10(0~150V) |
μm±20% |
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开环分辨率 |
1 |
0.5 |
nm |
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空载谐振频率 |
>350 |
>350 |
Hz±20% |
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带载 150g 谐频 |
>120 |
>120 |
Hz±20% |
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静电容量 |
5.4/ 轴 |
0.75/ 轴 |
μF±10% |
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材料 |
钛合金，铝 |
钛合金，铝 |
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承载 |
≤ 150 |
≤ 150 |
g±5% |
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尺寸图
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| Step |
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| 使用说明书/Manual |
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