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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >> P77系列压电纳米定位台/移相器
P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心为106mm大通光孔，压电陶瓷直驱机构，内置高性能压电陶瓷，可以实现Z轴17.5μm的位移行程，无摩擦柔性导向机构具有高的分辨率，闭环版本定位精度可达纳米级，是光学移相器。
P77.Z一维Z轴压电扫描台，承载可达5kg，闭环扫描台精度高，直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域。
特点
• 一维Z向运动，行程17.5μm • 承载5kg • 通孔直径：Ø106mm • 亚纳米级分辨率 • 响应速度快 • 闭环重复定位精度高
台体采用直驱式机构设计，响应速度快
产品运动示意图
大孔径、大承载、高谐振频率
P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计， 利用有限元分析优化，刚度可达8N/μm，空载谐振频率300Hz。
闭环版本内置高精度传感器，对位移实时监测反馈，可实现纳米级的重复定位精度及线性度。
压电扫描台中心106mm的大通光孔，是光学移相器，该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。
应用案例-大孔径干涉仪
芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中，提高了干涉仪的测量精度。
频率负载曲线
应用
• 图像处理与稳定 • 移相器 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术
技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P77.Z20S |
单位 |
尾缀K-开环 |
|||
运动自由度 |
Z |
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运动和定位 |
|||
标称行程范围 |
14 |
µm±20% |
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行程范围 |
17.5 |
µm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ø106 |
mm |
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分辨率 |
1/0.5 |
nm，typ. |
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闭环线性度 |
0.2/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
|||
运动方向推/拉力 |
120/50 |
N |
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运动方向刚度 |
8 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.3 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
5/2.5 |
ms±20% |
|
空载工作频率* |
10%行程 |
60/>60 |
Hz±20% |
100%行程 |
10/>10 |
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承载能力 |
5 |
Kg |
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驱动性能 |
|||
静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
|
其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
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外形尺寸 |
170×170×33 |
mm |
|
重量 |
1600 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
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*若此工作频率已接近或超过谐振频率，建议在小于谐振频率以下使用，若在此频率下工作，输入电压要足够小，请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20μm，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
尺寸图
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| Step |
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