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压电 纳米 定位 |
产品中心 >> 压电纳米定位台 >>XD602三维压电纳米定位台
XD602 压电纳米定位台是 XYZ 三维运动压电平台，它的行程范围可达 200μm/ 轴。
特点
• XYZ 三维运动 行程范围可达 200μm/ 轴 • 闭环版本精度更高
技术参数（三维XYZ运动）
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型号 |
XD602 |
单位 |
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运动方向 |
XYZ |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
160 |
μm±20% |
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行程范围（0~150V） |
200 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS |
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闭/开环分辨率 |
10/5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2 |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
270 |
Hz±20% |
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加载100g负载谐振频率 |
110 |
Hz±20% |
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50%行程空载使用频率 |
20 |
Hz±20% |
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静电容量 |
14/14/7.2 |
μF±20% |
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台体材料 |
铝 |
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工作温度范围 |
0~50 |
℃ |
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承载能力 |
300 |
g |
尺寸图
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| Auto CAD PDF |
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| Step |
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| 参数表/Specs Sheet | |
| 使用说明书/Manual |
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