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| 技术参数 | ||||||
|
轴 |
机构 |
型号 |
位移[μm] |
分辨率[nm] |
谐振频率[kHz] |
承载[kg] |
|
X轴 |
直驱机构 |
P63.X7 |
8 |
0.1 |
2 |
0.8 |
|
直驱机构 |
P63.X18-D1 |
18 |
0.3 |
2 |
0.5 |
|
|
直驱机构 |
P66.X30 |
30 |
0.7 |
5 |
8 |
|
|
直驱机构 |
P66.X60 |
60 |
0.8 |
1.3 |
6 |
|
|
直驱机构 |
P66A.X30 |
39 |
5 |
2 |
0.1 |
|
|
直驱机构 |
XP-630.X |
15 |
0.1 |
3.2 |
5 |
|
|
直驱机构 |
XP-631.X |
30 |
0.2 |
2.4 |
5 |
|
|
直驱机构 |
XP-633.X |
60 |
0.3 |
1.5 |
5 |
|
|
放大机构 |
P60.X250 |
±165 |
5 |
0.49 |
0.6 |
|
|
放大机构 |
N60.X30 |
34 |
0.5 |
1.8 |
0.5 |
|
|
放大机构 |
XP-611.X100 |
100 |
4 |
0.28 |
0.8 |
|
|
放大机构 |
P11.X100 |
110 |
4 |
0.3 |
0.8 |
|
|
放大机构 |
N60.X30 |
30 |
0.5 |
1.8 |
0.5 |
|
|
Z轴 |
直驱机构 |
P63.Z7 |
6.8 |
0.1 |
2.5 |
0.8 |
|
直驱机构 |
P63.Z8-D1 |
8 |
0.3 |
1 |
0.5 |
|
|
放大机构 |
P11.Z100 |
100 |
4 |
0.7 |
0.8 |
|
|
放大机构 |
P11.Z200 |
200 |
4 |
0.18 |
0.5 |
|
|
放大机构 |
P11.Z300 |
300 |
5 |
0.12 |
0.4 |
|
|
放大机构 |
P60.Z250 |
250 |
3 |
0.26 |
1 |
|
|
放大机构 |
P60.Z500 |
500 |
5 |
0.29 |
2 |
|
|
放大机构 |
P66.Z30 |
30 |
1.4 |
1 |
1 |
|
|
放大机构 |
XP-611.Z100 |
100 |
4 |
0.28 |
1.2 |
|
|
放大机构 |
P80.Z100 |
110 |
3 |
0.4 |
0.8 |
|
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
