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XD780 系列大负载压电纳米定位台可实现一维 X 向 运动，有 50μm、150μm 和 200μm 三种行程可选。 平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的 结构设计。内置高性能压电陶瓷，可实现 200μm 位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移，确保 了纳米级定位精度。
产品特点
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XD780.50 
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XD780.150/200 
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带载阶跃时间 XD780.50S 负载5kg（1V）闭环上升的阶跃时间为15ms。
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闭环曲线 -XD780.150S 
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Z向多头物镜调焦 
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Z向多头物镜调焦 
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典型应用
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| 技术参数 | |||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
XD780.50S |
XD780.150S |
XD780.200S |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动，1路传感 |
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标称行程范围（0~120V） |
40 |
120 |
160 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
50 |
150 |
200 |
μm±10% |
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驱动形式 |
直驱机构式 |
放大机构式 |
放大机构式 |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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分辨率 |
2/0.5 |
5/1.5 |
7/2 |
nm |
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线性度 |
0.01/- |
0.03/- |
0.05/- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.02/- |
0.01/- |
0.02/- |
%F.S. |
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承载能力 |
水平安装 |
5 |
5 |
5 |
kg |
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立式安装 |
0.05或5 |
0.05或5 |
0.05或5 |
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倒置安装 |
5 |
5 |
5 |
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空载谐振频率 |
2200 |
760 |
700 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
160 |
100 |
85 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
15@5kg（1V）/7.5 |
30/4 |
50@5kg（1V）/10 |
ms±20% |
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静电容量 |
10.2 |
27.2 |
27.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量（含线） |
450 |
1000 |
＜1051 |
g±5% |
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不同安装方向对应不同负载能力
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装-方向1 |
立式安装-方向2 |
| 示意图 |
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| 安装方向 |
立式安装-方向3 |
立式安装-方向4 |
倒置安装 |
| 示意图 |
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| 备注 |
请结合安装方式确定对应负载上限，避免负载过大导致机构受损进而影响精度 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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