P66.Z纳米定位台的运动示意图
(注:为便于观看,运动范围已被放大)
P63.Z压电纳米定位台技术参数
型号:P63.Z7S
运动自由度:Z
标称行程(0~120V):5.5μm
行程范围(0~150V):6.8μm
传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:0.2/0.1nm
闭环线性度:0.4%F.S.
闭环重复定位精度:0.2%F.S.
俯仰/偏航/滚动:<5μrad
推/拉力:10/2N
运动方向刚度:1.5N/μm
空载谐振频率:2kHz
闭/开环空载阶跃时间:1.5/0.3ms
满行程闭环空载工作频率:达200Hz
承载:0.8kg
静电容量:0.8μF
材质:铝
重量:70g