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P11.X/Z200 系列小体积压电纳米定位台是一维运动压电平台，它的行程范围可达200μm，运动方向可选X向或Z向。可选配闭环反馈传感器，获取更高精度。可定制低温真空版本。
产品特点
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技术参数 |
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编号 |
P11.X200S |
P11.X200K |
P11.Z200S |
P11.Z200K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
160 |
160 |
160 |
160 |
μm±20% |
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Max.行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
200 |
200 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
SGS |
- |
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分辨率 |
5.5 |
2 |
5.5 |
2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.05 |
- |
0.15 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.02 |
- |
0.06 |
- |
%F.S. |
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俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<20 |
<20 |
<10 |
<10 |
μrad |
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推 / 拉力 |
- |
- |
70/6 |
70/6 |
N |
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真空环境 |
10^-4 |
10^-4 |
- |
- |
Pa |
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运动方向刚度 |
- |
- |
0.45 |
0.45 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
0.3 |
0.3 |
0.18 |
0.18 |
kHz±20% |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
20 |
0.8 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
kg |
| 立式安装 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
kg |
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| 倒置安装 | 0.5 | 0.5 | 0.03 | 0.03 | kg | |
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静电容量 |
3.6 |
3.6 |
3.6 |
3.6 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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| 重量 |
- |
- |
170 |
170 |
g±5% |
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位移与电压曲线 |
- |
- |
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谐振频率与负载曲线 |
- |
- |
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线性度曲线 |
- |
- |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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