P11.X/Z200 系列压电纳米定位台是一维运动压电平台,它的行程范围可达200μm,运动方向可选X向或Z向。可选配闭环反馈传感器,获取更高精度。可定制低温真空版本。
产品特点
一维 X 向或Z向运动 |
行程达 200μm |
承载力达0.5kg |
分辨率10nm |
技术参数 | |||||
编号 |
P11.X200S |
P11.X200K |
P11.Z200S |
P11.Z200K |
单位 |
运动自由度 |
X |
X |
Z |
Z |
|
驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
|
标称行程范围(0~120V) |
160 |
160 |
160 |
160 |
μm±20% |
行程范围(0~150V) |
200 |
200 |
200 |
200 |
μm±20% |
传感器类型 |
SGS |
- |
SGS |
- |
|
分辨率 |
10 |
4 |
5.5 |
2 |
nm |
闭环线性度 |
0.05 |
- |
0.15 |
- |
%F.S. |
重复定位精度 |
0.02 |
- |
0.06 |
- |
%F.S. |
俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<20 |
<20 |
<10 |
<10 |
μrad |
推 / 拉力 |
- |
- |
70/6 |
70/6 |
N |
真空环境 |
10^-4 |
10^-4 |
- |
- |
Pa |
运动方向刚度 |
- |
- |
0.45 |
0.45 |
N/μm±20% |
空载谐振频率 |
0.3 |
0.3 |
0.18 |
0.18 |
kHz±20% |
闭 / 开环空载阶跃时间 |
20 |
0.8 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
承载能力 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
kg |
静电容量 |
3.6 |
3.6 |
3.6 |
3.6 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
重量 |
- |
- |
170 |
170 |
g±5% |
位移与电压曲线 |
- |
- |
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谐振频率与负载曲线 |
- |
- |
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线性度曲线 |
- |
- |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |