P11.X200 P11.Z200 压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P11.X200 P11.Z200 压电纳米定位台
  • 产品介绍
  • 应用
  • 意见反馈

P11.X/Z200 系列压电纳米定位台是一维运动压电平台,它的行程范围可达200μm,运动方向可选X向或Z向。可选配闭环反馈传感器,获取更高精度。可定制低温真空版本。


产品特点


 一维 X 向或Z向运动

 行程达 200μm

 承载力达0.5kg

 分辨率10nm

    技术参数

编号

P11.X200S

P11.X200K
P11.Z200S
P11.Z200K

单位

运动自由度

X

X
Z
Z

 

驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动 1路驱动,1路传感
1路驱动

标称行程范围(0~120V)

160

160 160
160

μm±20%

行程范围(0~150V)

200

200
200
200

μm±20%

传感器类型

SGS

- SGS
-

 

分辨率

10

4 5.5
2

nm

闭环线性度

0.05

- 0.15
-

%F.S.

重复定位精度

0.02

-
0.06
-

%F.S.

俯仰 / 偏航 / 滚动

<20

<20
<10
<10

μrad

推 / 拉力

-

-
70/6
70/6

N

真空环境

10^-4

10^-4
-
-

Pa

运动方向刚度

-

-
0.45
0.45

N/μm±20%

空载谐振频率

0.3

0.3
0.18
0.18

kHz±20%

闭 / 开环空载阶跃时间

20

0.8
10
0.8

ms±20%

承载能力

0.5

0.5
0.5
0.5

kg

静电容量

3.6

3.6 3.6
3.6

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝
钢、铝
钢、铝


重量

-

-
170
170

g±5%

位移与电压曲线

-

-


谐振频率与负载曲线

-

-


线性度曲线

-

-


    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF

P11.X200

P11.Z200

Step
参数表/Specs Sheet

使用说明书/Manual


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


应用案例


硬盘测试

显微镜探针校准

迈克尔逊干涉仪


  • 客户类别:
    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
  • 顾客单位名称:
  • 顾客单位所在城市:
         
  • 您的联系方式:
  • 联系人:
  • 手机:
  • 电话:
  • 邮箱:
  • QQ:
  • (为方便我们对您的意见进行跟踪反馈,请务必填写真实有效的联系方式)
  • 反馈产品类型:
  • 型号:
  • 反馈问题:
    性能问题 外观问题 配件问题 软件问题
  • 留言内容:
  • 验证码: 看不清?


微信公众平台

扫一扫, 获取芯明天更多信息

地址:黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路191号创业孵化产业园I2栋1层

电话:0451-86268790

压电 · 纳米 · 运动