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产品特点
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
S-闭环 K-开环 |
P63.X18S |
P63.X18K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0 ~+120 V） |
16 |
16 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~+150 V） |
18 |
18 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
0.6 |
0.2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
≤15 |
≤15 |
μrad |
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空载谐振频率 |
2 |
2 |
KHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
8 |
0.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
0.5 |
0.5 |
kg |
| 立式安装 | 0.1 | 0.1 | kg | |
| 倒置安装 | 0.5 | 0.5 | kg | |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
铝 |
铝 |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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