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XP-611.Z小体积压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，可实现X轴或Z轴100μm 的位移行程，柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高，是一维精密定位与扫描的理想选择。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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放大机构式驱动示意图 
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高稳定性、高谐振频率、体积小巧
XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，体积小巧、结构紧凑，XP-611.X的尺寸仅为 35×35×20mm，易于与其他设备集成安装。 |
传感器类型 
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高分辨率 芯明天XP-611系列定位台优异的设计结构，小巧的体积，100μm 的行程，内置高可靠性压电陶瓷，装配高精度传感器，定位精度可以 达到纳米级，产品一致性良好，已经应用于工业精密自动化加工领域。 
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位移与电压曲线 
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谐振频率与负载曲线 
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线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-611.Z100S |
XP-611.Z100K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
80 |
80 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
100 |
100 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
0.28 |
0.28 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率（-3dB） |
- |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
1.2 |
1.2 |
kg |
| 立式安装 | - | - | kg | |
| 倒置安装 | - | - | kg | |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
铝、钢 |
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重量 |
80 |
80 |
g±5% |
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Max.驱动电压可在-20V~150V使用；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压0~120V。 |
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**可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
