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P66.X5K为一款高分辨率压电纳米定位台。该产品采用压电陶瓷直驱，可在X向实现4.7μm位移，水平方向安装承载可达2kg。体积小巧，结构紧凑，尺寸仅为85×70×15.5mm^3，，适于在体积有限的空间中使用。该产品分辨率可达0.2nm，阶跃时间可达1毫秒，适于高精度快速响应应用。
产品特点
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 毫秒级响应时间
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真空版本可选
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推荐控制器 
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电压-位移曲线 
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| 技术参数 | |||
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型号 |
P66.X5K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
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驱动控制 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
3.8 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
4.7 |
μm±10% |
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开环分辨率 |
0.2 |
nm |
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空载谐振频率 |
2 |
kHz±20% |
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带载谐振频率 |
0.4@2kg |
kHz±20% |
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阶跃时间 |
1 |
ms±20% |
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静电容量 |
0.38 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~65 |
℃ |
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承载能力 |
水平安装 |
2 |
kg |
| 立式安装 | 1.5 | ||
| 倒置安装 | 2 | ||
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材质 |
不锈钢、铝合金 |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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重量 |
240 |
g |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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