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P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,P11.X为一维压电纳米定位台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有控制精度,分辨率和稳定 性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。


产品特点


 一维X轴运动

 位移行程100μm

 体积小巧

 毫秒级响应时间

 纳米级定位精度

 真空版本可选

 

 


产品运动示意图

传感器类型

放大机构式驱动示意图

大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快

P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~3维100μm的精密运动。
      该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本, 闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。

原子力探针扫描显微镜

谐振频率与负载曲线

线性度曲线

位移与电压曲线


产品应用


 光纤定位/光学扫描

 纳米压印

 纳米计量

 微操控

 纳米定位

 干涉法/ 扫描显微/纳米定位

 生物技术/半导体技术

 质量保证测试

 微加工/精密控制





P11全系列产品


P11.X一维压电纳米定位台

P11.Z一维压电纳米定位台

P11.XY二维压电纳米定位台

P11.XZ二维压电纳米定位台

P11.XYZ三维压电纳米定位台

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

P11.X100S

P11.X100K

单位

运动自由度

X

 

驱动控制

1路驱动,1路传感

标称行程范围(0~120V

80

μm±10%

行程范围(0~150V

100

μm±10%

传感器类型

SGS/-

 

/开环分辨率

3/1

nm

闭环线性度

0.05/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.02/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

μrad

/拉力

30/10

N

运动方向刚度

0.3

N/μm±20%

空载谐振频率

0.3

kHz±20%

/开环空载阶跃时间

10/0.8

ms±20%

闭环工作频率(-3dB)

70(负载100g)

Hz±20%

承载能力

0.8

kg

静电容量

1.8

μF±20%

材质

钢、铝

 

重量

100

g±5%

若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。 

可定制低温版本及高真空版本。 

连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

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Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


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