P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,P11.XYZ为三维压电纳米定位台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有佳的控制精度,分辨率和稳定性可达纳米量级,定位稳定时间为毫秒量级。压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,且体积小、结构紧凑易于集成。
产品特点
二维XZ轴运动 |
行程100μm |
体积小巧 |
毫秒级响应时间 |
纳米级定位精度 |
真空版本可选 |
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产品运动示意图 |
传感器类型 |
放大机构式驱动示意图 |
大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快
P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~3维100μm的精密运动。 |
原子力探针扫描显微镜 |
产品应用
光纤定位/光学扫描 |
纳米压印 |
纳米计量 |
微操控 |
纳米定位 |
干涉法/ 扫描显微/纳米定位 |
生物技术/半导体技术 |
质量保证测试 |
微加工/精密控制 |
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P11全系列产品
技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P11.XZ100S |
P11.XZ100K |
单位 |
运动自由度 |
X、Z |
X、Z |
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驱动控制 |
2路驱动,2路传感 | 2路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
µm/轴±10% |
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行程范围(0~150V) |
100 |
100 |
µm/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm,typ. |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
µrad |
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机械性能 |
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运动方向推/拉力 |
25/10 |
25/10 |
N |
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运动方向刚度 |
X0.25/Z0.3 |
X0.25/Z0.3 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
X0.2/Z0.3 |
X0.2/Z0.3 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
15 |
0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率(-3dB) |
- |
- |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.7 |
0.7 |
Kg |
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驱动性能 |
||||
静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF/轴±20% |
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其他 |
||||
工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸(长×宽×高) |
40×40×36.5 |
40×40×36.5 |
mm |
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重量 |
170 |
170 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
** 可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |