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P66.X15系列高分辨率压电纳米定位台为一维X向运动压电平台，其内部采用直驱机构，可进行20μm范围内的纳米级位置调整。可采用水平、立式、倒置三种安装方式，每种安装承载能力不同，承载上限可达1kg。闭环版本可实现更高的定位精度。
产品特点
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 可定制，可选真空版
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推荐控制器  E53.D1S-H
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P66.X15S |
P66.X15K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
16 |
16 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
20 |
20 |
μm±10% |
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闭/开环分辨率 |
1 |
0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.16 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
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推/拉力 |
500/20 |
500/20 |
N |
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刚度 |
28.8 |
28.8 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
4350 |
4350 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@300g |
1070 |
1070 |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
kg |
| 立式安装 | 0.5 | 0.5 | ||
| 倒置安装 | 1 | 1 | ||
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闭/开环空载阶跃时间 |
8@300g |
2 |
ms±20% |
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静电容量 |
3.2 |
3.2 |
μF±20% |
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材料 |
不锈钢、铝合金 |
不锈钢、铝合金 |
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重量 |
265 |
265 |
g±5% |
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| 连接器 |
驱动：J14A-9TJL 传感：J14A-15TJL |
驱动：J14A-9TJL |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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