XP-611.X一维X向压电纳米定位台 100μm当前位置:产品首页 >> 压电显微扫描台定制>>XP-611.X一维X向压电纳米定位台 100μm
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XP-611.X压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴或Z轴100μm 的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是一维精密定位与扫描的理想选择。


产品特点


 一维X轴运动

 位移行程100μm

 小体积

 毫秒级响应速度

 纳米级定位精度

 真空版本可选

 

 


外观形状

产品运动示意图

放大机构式驱动示意图

高稳定性、高谐振频率、体积小巧

      XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理,体积小巧、结构紧凑,XP-611.X的尺寸仅为 35×35×20mm,易于与其他设备集成安装。
      该系列定位台采用机构放大原理,位移可达 100μm,空载谐振频率高、响应速度快,100μm的阶跃时间为0.8ms,该系列产品以其高可靠性,高性价比等特点深得工业用户的青睐。

传感器类型

高分辨率

      芯明天XP-611系列定位台优异的设计结构,小巧的体积,100μm 的行程,内置高可靠性压电陶瓷,装配高精度传感器,定位精度可以 达到纳米级,产品一致性良好,已经应用于工业精密自动化加工领域。

位移与电压曲线

谐振频率与负载曲线

线性度曲线


产品应用


 光纤定位/光学扫描

 纳米压印

 纳米计量

 微操控

 纳米光刻

 干涉法/ 扫描显微/纳米定位

 生物技术/半导体技术

 质量保证测试

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

XP-611.X100S

XP-611.X100K

单位

尾缀K-开环

运动自由度

X

X

 

驱动控制

1路驱动,1路传感

1路驱动

标称行程范围(0~120V

80

80

μm±10%

行程范围(0~150V

100

100

μm±10%

传感器类型

SGS

-

 

分辨率

3

1

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

重复定位精度

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<15

<15

μrad

/拉力

30/10

30/10

N

运动方向刚度

0.3

0.3

N/μm±20%

空载谐振频率

0.28

0.28

kHz±20%

空载阶跃时间

10

0.8

ms±20%

闭环工作频率(-3dB)

50(空载)

50(空载)

Hz±20%

承载能力

0.8

0.8

kg

静电容量

1.8

1.8

μF±20%

材质

钢、铝

铝、钢

 

重量

80

80

g±5%

驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压0~120V

*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在远小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。 

**可定制低温版本及高真空版本。 

***连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


推荐控制器

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1路输出
上位机通信、模拟、旋钮
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3路输出
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开环/闭环
平均电流70mA


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1路输出
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开环/闭环
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1路输出
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开环/闭环
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3路输出
模拟控制
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1路输出
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