XP-611.X压电纳米定位台为一维X轴或Z轴压电平移台,采用机构放大设计原理,内置高性能压电陶瓷,可实现X轴或Z轴100μm 的位移行程,柔性铰链导向机构无摩擦、无后坐力。可选择闭环版本定位精度高,是一维精密定位与扫描的理想选择。
产品特点
一维X轴运动 |
位移行程100μm |
小体积 |
毫秒级响应速度 |
纳米级定位精度 |
真空版本可选 |
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外观形状 |
产品运动示意图 |
放大机构式驱动示意图 |
高稳定性、高谐振频率、体积小巧
XP-611系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理,体积小巧、结构紧凑,XP-611.X的尺寸仅为 35×35×20mm,易于与其他设备集成安装。 |
传感器类型 |
高分辨率 芯明天XP-611系列定位台优异的设计结构,小巧的体积,100μm 的行程,内置高可靠性压电陶瓷,装配高精度传感器,定位精度可以 达到纳米级,产品一致性良好,已经应用于工业精密自动化加工领域。 |
产品应用
光纤定位/光学扫描 |
纳米压印 |
纳米计量 |
微操控 |
纳米光刻 |
干涉法/ 扫描显微/纳米定位 |
生物技术/半导体技术 |
质量保证测试 |
技术参数 | ||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
XP-611.X100S |
XP-611.X100K |
单位 |
尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0~120V) |
80 |
80 |
μm±10% |
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行程范围(0~150V) |
100 |
100 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<15 |
μrad |
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推/拉力 |
30/10 |
30/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.3 |
0.3 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
0.28 |
0.28 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
10 |
0.8 |
ms±20% |
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闭环工作频率(-3dB) |
50(空载) |
50(空载) |
Hz±20% |
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承载能力 |
0.8 |
0.8 |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
铝、钢 |
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重量 |
80 |
80 |
g±5% |
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驱动电压可在0V~150V使用;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压0~120V。 |
*若此工作频率已接近或超过谐振频率,建议在远小于谐振频率以下使用,若在此频率下工作,输入电压要足够小,请从小信号逐渐调试。开环使用时可达到的工作频率大于此频率。
**可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um,粗糙度约1.6至3.2,特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |