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P60.X200系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，在X轴可实现达200μm的位移，可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。平台可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。
产品特点
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典型应用
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带载阶跃时间 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环
尾缀K-开环
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P60.X200S |
P60.X200K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
160 |
160 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
200 |
200 |
µm±10% |
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传感器 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
7 |
2 |
nm |
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闭环线性度 |
0.02 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.01 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
＜15 |
＜15 |
μrad |
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闭/开环空载阶跃时间 |
50@20μm，1300g |
30 |
ms±20% |
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空载谐振频率 |
370 |
370 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@1300g |
120 |
120 |
Hz±20% |
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静电容量
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10.8 |
10.8 |
μF±20%
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工作温度范围 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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承载能力 |
水平安装 |
5 |
5 |
kg |
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立式安装 |
3 |
3 |
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倒置安装 |
5 |
5 |
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材质 |
不锈钢、铝合金 | 不锈钢、铝合金 |
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重量 |
630 |
630 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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