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P66.X90C高分辨率压电纳米定位台可实现一维X向直线运动，行程可达到95μm。闭环版本采用电容CAP闭环，搭配芯明天自研的E53.D1C-H压电控制器，可以实现更高精度的运动控制。
产品特点
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推荐控制器：E53.D1C-H 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀C-闭环
尾缀K-开环
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P66.X90C |
P66.X90K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路电容传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
76 |
76 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
95 |
95 |
µm±10% |
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传感器 |
CAP |
- |
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分辨率 |
3 |
1 |
nm |
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闭环线性度 |
0.021 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.005 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
615 |
615 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
310 |
310 |
Hz±20% |
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阶跃时间@5kg |
8@20μm |
6 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
10 |
10 |
kg |
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立式安装 |
5 |
5 |
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倒置安装 |
10 |
10 |
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静电容量 |
37 |
37 |
μF±20% |
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材质 |
铝合金 | 铝合金 |
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重量（含线） |
5.7 |
5.7 |
kg±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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