型号

P60.Z1000S-C1

P60.Z1000K-C1

单位

运动方向

Z

Z

驱动控制

1路驱动，1路传感

1路驱动

标称行程范围（0 ~120 V）

800

800

µm±10%

行程范围（0~150V）

1000

1000

µm±10%

传感器类型

SGS

-

分辨率

35

10

nm

闭环线性度

0.2

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

空载谐振频率

80

80

Hz±20%

加载100g负载谐振频率

1.5

1.5

Hz±20%

静电容量

72

72

μF±20%

材质

钛、铝

钛、铝

重量

<1.3

<1.3

kg±20%

真空度

-

-

mbar