产品特点
一维 X 向运动 |
行程达 38μm |
承载力达 100g |
可选闭环版本、真空版本 |
典型应用
纳米级精密位置调整 |
扫描显微 |
微操作 |
纳米定位 / 测量 |
微加工 |
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技术参数 | |||
型号 |
P66.X30S-C1 |
P66.X30K-C1 |
单位 |
运动方向 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0 ~120 V) |
30 |
30 |
µm±10% |
行程范围(0~150V) |
38 |
38 |
µm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
1 |
0.5 |
nm |
闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
推 / 拉力 |
200/10 |
200/10 |
N |
运动方向刚度 |
10 |
10 |
N/μm |
空载谐振频率 |
2000 |
2000 |
Hz±20% |
闭 / 开环空载阶跃时间 |
5 |
1.5 |
ms±20% |
承载能力 |
100 |
100 |
g |
静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF±10% |
台体材料 |
铝 |
铝 |
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重量 |
193 |
193 |
g±5% |
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |