- 产品介绍
- 意见反馈
XD611.Z300 是一款 Z 向运动的压电纳米定位台，它的行 程可达 300μm，是专为低温真空环境应用而研发设计。
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
运动方向 
|
产品应用
|
|
|
|
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
XD611.Z300S |
XD611.Z300K |
单位 |
|
|
运动方向 |
Z |
Z |
|
|
|
驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1 路驱动 |
|
|
|
标称行程范围（0 ~120 V） |
240 |
240 |
µm±20% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
300 |
300 |
µm±20% |
|
|
传感器类型 |
SGS，全闭环 |
- |
|
|
|
分辨率 |
10 |
3 |
nm |
|
|
闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
|
|
闭环重复定位精度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
|
|
空载谐振频率 |
105 |
105 |
Hz±20% |
|
|
带载谐振频率 |
30（@300g） |
30（@300g） |
|
|
|
承载能力 |
水平安装 |
0.3 |
0.3 |
kg |
|
立式安装 |
0.02 |
0.02 |
||
|
倒置安装 |
0.02 |
0.02 |
||
|
静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF±20% |
|
|
材质 |
钛 | 钛 |
|
|
注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
硬盘测试 
|
显微镜探针校准 
|
迈克尔逊干涉仪 
|
