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XD611.Z300 是一款 Z 向运动的压电纳米定位台，它的行 程可达 300μm，是专为低温真空环境应用而研发设计。
产品特点
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运动方向 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD611.Z300S |
XD611.Z300K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
240 |
240 |
µm±20% |
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行程范围（0~150V） |
300 |
300 |
µm±20% |
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空载谐振频率 |
105 |
105 |
Hz±20% |
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带载谐振频率 |
30（@300g） |
30（@300g） |
Hz±20% |
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传感器类型 |
SGS，全闭环 |
- |
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分辨率 |
10 |
3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.5 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.15 |
- |
%F.S. |
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静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF±20% |
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负载 |
300 |
300 |
g |
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材质 |
钛 |
钛 |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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