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为满足客户真空无磁环境下压电纳米定位台使用需求，芯明天研发和设计了P60.Z500S/K-C一维Z向压电纳米定位台。其内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。定位台内置高性能压电陶瓷，可实现500μm位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。其内部结构、材质已经过特殊处理，适用于真空无磁环境。
产品特点
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典型应用
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带载阶跃时间 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环
尾缀K-开环
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P60.Z500S-C |
P60.Z500K-C |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
400 |
400 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
500 |
500 |
µm±10% |
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传感器 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
13.5 |
4 |
nm |
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闭环线性度 |
0.078 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
260 |
260 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@1100g |
120 |
120 |
Hz±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
5 |
5 |
kg |
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立式安装 |
3 |
3 |
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倒置安装 |
5 |
5 |
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闭/开环空载阶跃时间 |
120@1100g，30μm | 10 |
ms±20% |
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静电容量 |
58.5 |
58.5 |
μF±20% |
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工作温度范围 |
-20~65 |
-20~65 |
℃ |
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| 材料 |
钛、铝 |
钛、铝 |
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重量 |
950 | 950 |
g±5% |
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真空度 |
1×10^(-6) |
1×10^(-6) |
mbar |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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