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产品特点
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阶跃时间 
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闭环定位精度 
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谐振频率与负载曲线 
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位移与电压曲线 
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线性度曲线 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P60.X250S |
P60.X250K |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
2 路驱动，1路传感 |
2 路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
±130 |
±130 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
±165 |
±165 |
μm±10% |
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传感器 |
SGS |
- |
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分辨率 |
9 |
3 |
nm |
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线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.04 |
- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
＜10 |
＜10 |
μrad |
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推/拉力 |
300/30 |
300/30 |
N |
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运动方向刚度 |
1.2 |
1.2 |
N/μm±20% |
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空载谐频 |
490 |
490 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
80 |
40 |
ms±20% |
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最大承载 |
0.6 |
0.6 |
kg |
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静电容量 |
24.6 |
24.6 |
μF±20% |
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工作温度 |
-40~+80 |
-40~+80 |
℃ |
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抗振设计 |
半正弦 |
15g， 11ms |
15g， 11ms |
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后峰锯齿波 |
20g， 11ms |
20g， 11ms |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
950 |
950 |
g±5% |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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