- 产品介绍
- 应用
- 意见反馈
产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
阶跃时间 
|
闭环定位精度 
|
谐振频率与负载曲线 
|
|
位移与电压曲线 
|
线性度曲线 
|
| 技术参数 | ||||
|
型号 |
P60.X250S |
P60.X250K |
单位 |
|
|
运动自由度 |
X |
X |
|
|
|
驱动控制 |
2 路驱动，1路传感 |
2 路驱动 |
|
|
|
标称行程范围（0~120V） |
±130 |
±130 |
μm±10% |
|
|
Max.行程范围（0~150V） |
±165 |
±165 |
μm±10% |
|
|
传感器 |
SGS |
- |
|
|
|
分辨率 |
9 |
3 |
nm |
|
|
线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
|
|
重复定位精度 |
0.04 |
- |
%F.S. |
|
|
俯仰/偏航/滚动 |
＜10 |
＜10 |
μrad |
|
|
推/拉力 |
300/30 |
300/30 |
N |
|
|
运动方向刚度 |
1.2 |
1.2 |
N/μm±20% |
|
|
空载谐频 |
490 |
490 |
Hz±20% |
|
|
闭/开环空载阶跃时间 |
80 |
40 |
ms±20% |
|
|
承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
kg |
| 立式安装 | 0.5 | 0.5 | kg | |
| 倒置安装 | 1 | 1 | kg | |
|
静电容量 |
24.6 |
24.6 |
μF±20% |
|
|
工作温度 |
-40~+80 |
-40~+80 |
℃ |
|
|
抗振设计 |
半正弦 |
15g， 11ms |
15g， 11ms |
|
|
后峰锯齿波 |
20g， 11ms |
20g， 11ms |
||
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
|
重量 |
950 |
950 |
g±5% |
|
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
 |
 |
 |
| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
||
应用案例
|
硬盘测试 
|
显微镜探针校准 
|
迈克尔逊干涉仪 
|
