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Max.角度范围

分辨率

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S22.U0-A

θx

±0.25mrad(≈±52秒)

0.005μrad(<0.01秒)

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S50.U0C/K

θx

0.19mrad(≈9秒)

-

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S50.U0C/K-D

θx

0.5mrad(≈100秒)

0.01μrad(<0.01秒

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S51.ZT0S/K

θx、θy、Z

±0.4mrad(≈±82秒)/轴
110μm

0.1μrad(≈0.02秒 )
3nm

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S51.ZT1S/K

θx、θy、Z

±1.1mrad(≈±220秒)/轴
100μm

0.05μrad(≈0.01秒)
4nm

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S51.ZT1S/K-C

θx、θyZ

±1.1mrad(≈±220秒)/轴
110μm

0.05μrad(≈0.01秒)
4nm

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S51.ZT2S/K-C

θx、θyZ

±2mrad(≈±412秒)/轴
240μm

0.06μrad(≈0.01秒)
2nm

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S52
θx、θyZ
±1.37mrad(≈±282.5秒)/轴
217μm
0.04μrad(<0.01秒)
2nm
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S54.T0S/K
θx、θy
±0.5mrad(≈±103秒)
±0.62mrad(≈±128秒)
0.015μrad(<0.01秒)
0.02μrad(<0.01秒)
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S54.T0S/K-C
θx、θy
±0.35mrad(≈±72秒)/轴
0.1μrad(≈0.02秒)
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S54.T1S/K-C
θx、θy

±1mrad(≈±206秒)

±0.75mrad(≈±155秒)

0.03μrad(<0.01秒)
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S54.T2
θx、θy
±1mrad(≈±200秒)/轴
0.05μrad(≈0.01秒)
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S54A.T3S/K112
θx、θy
±1.5mrad(≈±309秒)/轴
0.2μrad( ≈0.04秒 )
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S55
θx、θy
±0.16mrad(≈±33秒)/轴
0.1μrad(≈0.02秒)
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XD500.T0
θx、θy
0.58mrad(≈119秒)/轴
0.1μrad(≈0.02秒)
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XD500.T4
θx、θy
±2mrad(≈±413秒)/轴
0.1μrad(≈0.02秒)
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XD503
θx、θy
±5mrad(≈±1000秒)/轴
0.1μrad(≈ 0.02秒)
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XD504
θx、θy
±1mrad(≈±200秒)/轴
0.5μrad(≈0.1秒)
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XD505
θx、θy
0.35mrad(≈72秒)/轴
0.003μrad(<0.01秒)
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陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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