S54系列二维θxθy向压电偏摆台 ±1mrad 中孔80mm×80mm当前位置:产品首页 >> 压电偏摆台>>S54系列二维θxθy向压电偏摆台 ±1mrad 中孔80mm×80mm
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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整,内部采用无回差柔性铰链并联结构设计,产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快,是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。


S54系列是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台,采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。


产品特点


 θx, θy偏摆运动,偏转角度可达±1mrad/轴

 开环/闭环可选择

 80×80mm大通孔

 分辨率高

 外形超薄

 

 

 


外观形状

产品θx、θy 轴偏摆

闭环曲线

大承载、高精度、高频率

S54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化,使角度偏移达到小,无空回、无摩擦。
      采用压电陶瓷驱动实现±1mrad的偏转角度,分辨率高达0.05μrad,可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。
      台体薄,厚度仅为20mm,中心通孔尺寸为80×80mm,S54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的理想选择。

频率负载曲线

应用实例-激光合束/军事激光武器

S54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。

负载大镜片

S54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm,适用于需要透射光的应用,负载后仍可高动态高精度的扫描。

驱动方式-校准调测

S54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。

震动实验

驱动方式

S54压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入,通过控制电压的大小,对不同的光路距离,可进行一定范围的圆形范围扫描,如下右图所示。


产品应用


 光束扫描

 激光合束对准与激光致盲

 干涉/计量

 空间扰动模拟系统

 光路调整

 掩模与晶片位置调整

 光学显微成像

 SPM扫描显微

 掩模/晶圆定位

 生物技术

 表面结构分析


    技术参数

型号

尾缀S-闭环

S54.T2S

S54.T2K

单位

尾缀K-开环

 运动自由度

θx,θy

θx,θy

 

 驱动控制

3路驱动,2路传感

3路驱动

 

 标称偏转角度范围(0~120V

±0.8(≈±165秒/轴)

±0.8(≈±165秒/轴)

mrad/轴±10%

 偏转角度范围(0~150V

±1(≈ ±200 秒)/ 轴

±1(≈ ±200 秒)/ 轴

mrad/轴±10%

 传感器类型

SGS

-

 

 偏转分辨率

0.25

0.05

µrad

 闭环线性度

0.2

-

%F.S.

 闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

机械性能

 /拉力

40/8

40/8

N

 运动方向刚度

0.5

0.5

N/µm±20%

 空载谐振频率

θx450/θy400

θx450/θy400

Hz±20%

 空载阶跃时间

20

3.5

ms±20%

 闭环工作频率(-3dB)

110(空载)

110(空载)

Hz±20%

 承载能力

1

1

kg

驱动性能

 静电容量

3.6/

3.6/

μF±20%

其它

 工作温度范围**

-20~80

-20~80

°C

 材质

钢、铝

钢、铝

 

 外形尺寸(长×宽×高)

125×125×20

125×125×20

mm

 通光孔尺寸(长×宽)

80×804×R10***

80×804×R10***

mm

 重量

510

510

g±5%

 出线长

1.5

1.5

m±10mm

 传感/电压连接器****

LEMO

LEMO

** 可定制低温版本及高真空版本。 

***代表通光孔4个角弧形半径为10mm。 

**** 连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得,Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


晶圆表面检测


晶圆表面检测


陶瓷转接头

氧化铝转接头

金属转接头

促动器柔性转接头

       

钨钢垫片

热稳定散热片

促动器与平台转接座

促动器测试支架

       

粘镜片胶水

P34 镜片转接架

P32/ P33 镜片转接架

P32/P33 镜片转接座

       

P22 测试支架

P32/P33 测试支架

P34 测试支架

P31/P54 测试支架

       

BNC转LEMO

BNC转鱼夹

单芯LEMO座转鱼夹

单芯LEMO线

       

BNC连接头转鱼夹

LEMO 连接器

测试支架

磁力表座

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