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S54.T0系列是客户定制版压电偏摆台，可实现θx、θy二维偏摆运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高。结构紧凑，搭配大中心通孔设计，易于集成在显微及扫描等光学系统中。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀 S- 闭环 |
S54.T0S |
S54.T0K |
单位 |
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运动自由度 |
θx，θy |
θx，θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动 |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±0.4（≈±83秒） |
±0.4（≈±83秒） |
mrad±10% |
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偏摆角度（0~150V） |
±0.5（≈±103秒） |
±0.5（≈±103秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环偏摆分辨率 |
0.04（＜0.01秒） |
0.015（＜0.01秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
θx0.06/θy0.05 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
θx0.04/θy0.03 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
θx0.7/θy0.6 |
θx0.7/θy0.6 |
kHz±20% |
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带载谐振频率@100g |
θx0.3/θy0.4 |
θx0.3/θy0.4 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
12 |
1 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.1 |
0.1 |
kg |
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静电容量 |
1.6/轴 |
1.6/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
330（含线） |
330（含线） |
g±5% |
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应用案例
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晶圆表面检测 
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