S54.T0系列是客户定制版压电偏摆台,可实现θx、θy二维偏摆运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计,响应速度快、闭环定位精度高。结构紧凑,搭配大中心通孔设计,易于集成在显微及扫描等光学系统中。
产品特点
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产品应用
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技术参数 | ||||
型号 |
尾缀 S- 闭环 |
S54.T0S |
S54.T0K |
单位 |
运动自由度 |
θx,θy |
θx,θy |
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驱动控制 |
3路驱动,2路传感 |
3路驱动 |
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标称偏摆角度(0~120V) |
±0.4(≈±83秒) |
±0.4(≈±83秒) |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度(0~150V) |
±0.5(≈±103秒) |
±0.5(≈±103秒) |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环偏摆分辨率 |
0.04(<0.01秒) |
0.015(<0.01秒) |
μrad |
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闭环线性度 |
θx0.06/θy0.05 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
θx0.04/θy0.03 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
θx0.7/θy0.6 |
θx0.7/θy0.6 |
kHz±20% |
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带载谐振频率@100g |
θx0.3/θy0.4 |
θx0.3/θy0.4 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
12 |
1 |
ms±20% |
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承载能力 |
0.1 |
0.1 |
kg |
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静电容量 |
1.6/轴 |
1.6/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
330(含线) |
330(含线) |
g±5% |
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应用案例
晶圆表面检测 ![]() |