型号

XD503.T10S/K

单位

运动自由度

θx、θy

传感器

SGS

驱动控制

3路驱动，2路传感

行程范围（0~150V）

±5

mrad±20%

承载能力

正向2/卧式0.02/倒置0.1

kg

开 / 闭环分辨率 (5mV)

0.1/0.4

μrad±20%

空载固有频率

200

Hz±20%

加载 2kg 固有频率

60

Hz±20%

线性度

0.2

%F.S.

重复定位精度

0.15

%F.S.

重量

1.3

kg±5%

静电容量

57.6

μF/ 轴 ±20%

材质

铝合金