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S50.U0C/K-D 系列为一维 θx 轴偏摆的大负载压电偏摆台，它的承载能力可达 60kg，偏转角度为 ±0.25mrad。它采用电容式闭环传感器，分辨率可达 10nrad，并可在 20kg 载荷下高频率工作。它非常适于大负载偏摆运动实验，如空间扰动模拟等。
产品特点
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使用频率与振幅曲线 (20kg 负载下 ) 
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典型应用
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| 技术参数 | ||||||
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型号 |
S50.U0C/K-D |
单位 |
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运动自由度 |
θx |
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驱动控制 |
2 路驱动，1路传感 |
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标称偏摆角度（0~120V） |
0.4(≈80秒) |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
0.5(≈100 秒) |
mrad±10% |
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传感器类型 |
CAP/- |
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闭/开环分辨率 |
0.02/0.01(＜0.01秒) |
μrad |
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闭环线性度 |
0.3/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.3/- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
750 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
30/15 |
ms±20% |
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20kg负载后使用频率与振动幅度关系 |
角振幅度 |
±0.1 |
±0.05 |
±0.02 |
±0.01 |
mrad±20% |
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频段 |
0~120 |
0~180 |
0~200 |
0~210 |
Hz±20% |
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承载能力 |
60 |
kg |
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静电容量 |
30 |
μF±20% |
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材质 |
铝、钢 |
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出线长 |
1.5 |
m±10mm |
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应用案例
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晶圆表面检测 
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