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S54.T1S/K-C系列压电偏摆台是一款高精度压电偏摆台，可产生θx、θy二维偏转运动，位移可达θx2、θy1.5mrad。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计，具有响应速度快、定位精度高的特点。配合闭环传感器可实现0.011%F.S.的重复定位精度，适用于各种高精度应用。同时中心具有大中心通孔设计，透光孔径为110×80mm^2，适用于透射光应用等。
产品特点
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带载阶跃时间 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
S54.T1S-C |
S54.T1K-C |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx，θy |
θx，θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动 |
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标称偏转角度（0~120V） |
±0.8（≈±165秒）/±0.6（≈±124秒） |
±0.8（≈±165秒）/±0.6（≈±124秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转角度（0~150V） |
±1（≈±206秒）/±0.75（≈±155秒） |
±1（≈±206秒）/±0.75（≈±155秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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通孔尺寸 |
110×80 |
110×80 |
mm |
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闭/开环偏摆分辨率 |
0.1（≈0.02秒） |
0.1（≈0.02秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
θx0.01/θy0.009 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
θx0.011/θy0.023 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
445/490 |
445/490 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@300g |
250/300 |
250/300 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
25@0.4mrad，300g |
5 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平方向 |
300 |
300 |
g |
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静电容量 |
3.6/轴 |
3.6/轴 |
μF±20% |
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材质 |
不锈钢、铝合金 |
不锈钢、铝合金 |
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重量 |
560（含线） |
560（含线） |
g±5% |
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