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压电偏摆/旋转台系列是通过压电陶瓷驱动进行精密角度调整，内部采用无回差柔性铰链并联结构设计，产品较高的偏转精度和高的稳定性且响应速度快，是激光光束扫描以及激光合束等光路调整的理想选择。
S51 系列是中心通孔三维θxθyZ轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。
产品特点
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外观形状 
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产品运动示意图 
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闭环曲线 
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超高导向精度、分辨率高、闭环传感精度高
S51 系列压电偏转台为θx,θy轴偏摆Z轴升降台，偏转行程为±1.1mrad，Z轴直线行程可达100μm。 |
频率负载曲线 
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仿真分析 通过有限元FEA优化的铰链用于导向机构偏转台。有限元分析技术用于设计运动方向上的刚度，并减少角度偏差。铰链部分允许高精度的运动，因为铰链机构无间隙、无摩擦。 
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超薄的设计适用于显微应用且可负载大镜片
S51 压电偏转台中心通光孔达80×80mm，适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。 |
驱动方式-校准调测 
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震动实验 
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驱动方式 S51 压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，并配合Z轴升降运动，再通过控制电压的大小，对于固定的光路距离，可进行一定范围的锥形范围扫描，如下图所示。 
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产品应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
S51.ZT1S |
S51.ZT1K |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx,θy,Z |
θx,θy,Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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标称直线行程范围（0~+120V） |
80 |
80 |
µm±10% |
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Max.直线行程范围（0~+150V） |
100 |
100 |
µm10% |
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标称偏转角度（0~+120V） |
±0.9 |
±0.9 |
mrad/轴±10% |
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Max.偏转角度（0~+150V） |
±1.1 |
±1.1 |
mrad/轴±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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Z向直线分辨率 |
7 |
4 |
nm |
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θx, θy偏摆分辨率 |
0.25 |
0.05 |
µrad |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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机械性能 |
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推/拉力 |
120/15 |
120/15 |
N |
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Z向刚度 |
1.5 |
1.5 |
N/µm±20% |
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空载谐振频率 |
0.34 |
0.34 |
kHz±20% |
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空载阶跃时间 |
30 |
4.5 |
ms±20% |
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承载能力 |
1 |
1 |
kg |
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驱动性能 |
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静电容量 |
5.4 |
5.4 |
μF/轴±20% |
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其他 |
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工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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外形尺寸（长×宽×高） |
150×150×20 |
150×150×20 |
mm |
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通光孔径 |
80×80，4×R5*** |
80×80，4×R5*** |
mm |
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重量 |
820 |
820 |
g±5% |
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出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
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** 可定制低温版本及高真空版本。
***代表通光孔4个角弧形半径为5mm。
**** 连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得，Max.驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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晶圆表面检测 
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
