产品特点
|
|
|
|
|
|
|
|
运动自由度 ![]() |
位移与电压曲线 ![]() |
线性度曲线 ![]() |
技术参数 | |||
型号 |
S51.ZT1S-C |
S51.ZT1K-C |
单位 |
运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
|
驱动控制 |
3路驱动,3路传感 |
3路驱动 |
|
标称直线行程范围(0~120V) |
90 |
90 |
μm±10% |
Max.直线行程范围(0~150V) |
110 |
110 |
μm±10% |
标称偏摆角度(0~120V) |
±0.9/轴(≈±190秒) |
±0.9/轴(≈±190秒) |
mrad±10% |
Max.偏摆角度(0~150V) |
±1.1/轴(≈±220秒) |
±1.1/轴(≈±220秒) |
mrad±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
|
Z向位移分辨率 |
7 |
4 |
nm |
θxθy偏摆分辨率 |
0.25 |
0.05 |
μrad |
闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
推/拉力 |
120/15 |
120/15 |
N |
运动方向刚度 |
1.5 |
1.5 |
N/μm±20% |
空载谐振频率 |
300 |
300 |
Hz±20% |
空载阶跃时间 |
35 |
5 |
ms±20% |
承载能力 |
2.5 |
2.5 |
Kg |
静电容量 |
10.8/轴 |
10.8/轴 |
μF±10% |
台体材料 |
铝、钢 |
铝、钢 |
|
重量 |
815 |
815 |
g±5% |
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m±0.1mm |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
|
|
应用案例
晶圆表面检测 ![]() |