型号

S51.ZT1S-C1

S51.ZT1K-C1

单位

运动自由度

θx、θy、Z

θx、θy、Z

驱动控制

3路驱动，3路传感

3路驱动

标称直线行程范围（0~120V）

90

90

μm±10%

直线行程范围（0~150V）

110

110

μm±10%

标称偏摆角度（0~120V）

±0.9/轴（≈±190秒）

±0.9/轴（≈±190秒）

mrad±10%

偏摆角度（0~150V）

±1.1/轴（≈±220秒）

±1.1/轴（≈±220秒）

mrad±10%

传感器类型

SGS

-

Z向位移分辨率

7

4

nm

θxθy偏摆分辨率

0.25

0.05

μrad

闭环线性度

0.1

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.05

-

%F.S.

推/拉力

120/15

120/15

N

运动方向刚度

1.5

1.5

N/μm±20%

空载谐振频率

300

300

Hz±20%

空载阶跃时间

35

5

ms±20%

承载能力

2.5

2.5

Kg

静电容量

10.8

10.8

μF±10%

台体材料

铝、钢

铝、钢

815

815

g±5%

电缆长度

1.5

1.5

m±0.1mm