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XD500.T4压电偏摆台是二维偏摆的运动平台，它的承载能力可达1kg，大型移动台面，适用于大型反射镜的安装及偏转调节。
产品特点
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θx、θy二维偏转产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD500.T4S |
XD500.T4K |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动 |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±1.6 |
±1.6 |
mrad±10% |
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偏摆角度（0~150V） |
±2 |
±2 |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环偏摆分辨率 |
0.5（≈0.03 秒） |
0.1（<0.01 秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.2 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
280 |
280 |
Hz±20% |
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加载1kg谐振频率 |
100 |
100 |
Hz±20% |
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承载能力 |
1 |
1 |
kg |
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静电容量 |
10.8/轴 |
10.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1575 |
1575 |
g±5% |
