产品特点
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技术参数 | ||
编号 | XD504.T2S/K | 单位 |
运动自由度 | θx、θy | |
传感器 | SGS |
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驱动控制 | 3路驱动,2路传感 |
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行程范围(0~150V | ±1/ 轴 |
mrad±20% |
承载能力 | 2 | kg |
空载固有频率 | 400 | Hz±20% |
加载 1.8kg 固有频率 | 200 | Hz±20% |
闭环分辨率 | 0.5 | μrad |
线性度 | 0.2 |
%F.S. |
重复定位精度 | 0.2 |
%F.S. |
闭环带载响应时间 | 40 | ms |
静电容量 | 28.8 | μF±20% |
重量(不含线) | 3.2 |
kg±5% |
材质 | 钢、铝 |
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应用案例
晶圆表面检测 ![]() |