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产品特点
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| 技术参数 | ||
| 编号 | XD504.T2S/K | 单位 |
| 运动自由度 | θx、θy | |
| 传感器 | SGS |
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| 驱动控制 | 3路驱动，2路传感 |
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| 行程范围（0~150V | ±1/ 轴 |
mrad±20% |
| 承载能力 | 2 | kg |
| 空载固有频率 | 400 | Hz±20% |
| 加载 1.8kg 固有频率 | 200 | Hz±20% |
| 闭环分辨率 | 0.5 | μrad |
| 线性度 | 0.2 |
%F.S. |
| 重复定位精度 | 0.2 |
%F.S. |
| 闭环带载响应时间 | 40 | ms |
| 静电容量 | 28.8 | μF±20% |
| 重量（不含线） | <3.5 |
kg |
| 材质 | 钢、铝 | |
应用案例
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晶圆表面检测 
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