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XD505 系列大负载压电偏摆台可实现θx、θy二维偏转，它的承载能力可达20kg，适用于大型负载的偏转调节。同时中心具有 60×60mm^2的通孔，适用于透射光应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD505.T0S |
XD505.T0K |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
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驱动控制 |
3路驱动，2路传感 |
3路驱动 |
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标称偏摆角度（0~120V） |
0.14/轴（≈±29秒） |
0.14/轴（≈±29秒） |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
0.18/轴（≈±37秒） |
0.18/轴（≈±37秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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闭/开环分辨率 |
0.001（＜0.01秒） |
0.003（＜0.01秒） |
μrad |
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线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
θx0.13/θy0.24 |
- |
%F.S. |
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静电容量 |
14.4/轴 |
14.4/轴 |
μF±20% |
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承载能力 |
20 |
20 |
kg |
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空载谐振频率 |
4.6 |
4.6 |
kHz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
θx 0.4/θy 0.32 |
θx 0.4/θy 0.32 |
kHz±20% |
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阶跃时间 |
50 |
10 |
ms±20% |
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重量（含线） |
2100 |
2100 |
g±5% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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应用案例
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晶圆表面检测 
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