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S51.ZT0S/K 系列大负载压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生 θx、θy 两轴偏转及 Z 向直线运动，中心具有大型通孔，适于透射光等应用。
产品特点
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θx、θy 偏摆，Z 向升降产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S51.ZT0S |
S51.ZT0K |
单位 |
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运动自由度 |
θx θy Z |
θx θy Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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标称直线行程范围（0~120V） |
90 |
90 |
μm±10% |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
110 |
110 |
μm±10% |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±0.32/ 轴 |
±0.32/ 轴 |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
±0.4/ 轴 |
±0.4/ 轴 |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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Z 向闭 / 开环分辨率 |
10 |
3 |
nm |
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θx、θy 闭 / 开环分辨率 |
0.25 |
0.1 |
μrad |
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闭环线性度 |
0.05 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.03 |
- |
%F.S. |
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Z 向推力 |
500 |
500 |
N |
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Z 向刚度 |
8 |
8 |
N/μm |
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空载谐振频率 |
230 |
230 |
Hz±20% |
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加载3kg谐振频率 |
150 |
150 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
40@3kg |
10 |
ms±20% |
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承载能力 |
5 |
5 |
kg |
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静电容量 |
7.2/ 轴 |
7.2/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
5( 不含线 ) |
5( 不含线 ) |
kg±5% |
