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S52A.ZT4S/K大负载压电偏摆台可产生θx、θy两轴偏摆及Z向直线运动。它的承载能力可达3.2kg，Z向闭环重复定位精度可达0.02%F.S.，适用于各种高精度应用领域。其台体内部采用柔性铰链机构，具有无机械摩擦、响应速度快、重复定位精度高等优点。本产品还可以根据需求进行定制，具有极高的灵活性，操作简便，满足不同应用场合。
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阶跃时间 
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产品特点
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 偏摆行程可达±2.15mrad/轴，分辨率可达0.1μrad
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S52A.ZT4S |
S52A.ZT4K |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
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驱动控制 |
4路驱动，4路传感 |
4路驱动 |
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标称直线行程范围（0~120V） |
235 |
235 |
μm±10% |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
295 |
295 |
μm±10% |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±1.7/轴（≈±351秒） |
±1.7/轴（≈±351秒） |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
±2.15/轴（≈±443秒） |
±2.15/轴（≈±443秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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闭/开环直线分辨率 |
10 |
3.5 |
nm |
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闭/开环偏转分辨率 |
0.2（≈0.04秒） |
0.1（≈0.02秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
θx0.13/θy0.14/Z0.13 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
θxθy0.04/Z0.02 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
θxθy230/Z190 |
θxθy230/Z190 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@3.2kg |
θxθy60/Z87 |
θxθy60/Z87 |
Hz±20% |
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承载能力 |
3.2 |
3.2 |
kg |
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静电容量 |
θxθy20/Z34 |
θxθy20/Z34 |
μF±20% |
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阶跃时间 |
100@3.2kg，1Hz |
40 |
ms±20% |
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重量 |
2.3 |
2.3 |
kg±5% |
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材质 |
不锈钢、铝 |
不锈钢、铝 |
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出线长 |
1.5 | 1.5 |
m±10mm |
注：以上参数是采用E70.D4S-L多通道压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V；
对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
应用案例
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晶圆表面检测 
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