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S52.ZT2S/K系列大负载压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生θx、θy两轴偏转及Z向直线运动。它的承载能力可达5kg，闭环重复定位精度可达0.006%F.S.，适用于各种高精度应用领域。同时中心具有55×55mm^2的通孔，适用于透射光应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S52.ZT2S |
S52.ZT2K |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
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驱动控制 |
8路驱动，8路传感 |
8路驱动 |
μm±10% |
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标称直线行程范围（0~120V） |
174 |
174 |
μm±10% |
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Max.直线行程范围（0~150V） |
217 |
217 |
μm±10% |
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标称偏摆角度（0~120V） |
±1.10/轴 |
±1.10/轴 |
mrad±10% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
±1.37/轴 |
±1.37/轴 |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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Z向闭/开环分辨率 |
3.5 |
2 |
nm |
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θx、θy闭/开环分辨率 |
0.14 |
0.04 |
μrad |
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Z 向闭环线性度 |
0.013 |
- |
%F.S. |
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θx、θy闭环线性度 |
0.009/轴 |
- |
%F.S. |
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Z 向闭环重复定位精度 |
0.009 |
- |
%F.S. |
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θx、θy闭环重复定位精度 |
θx：0.0067、θy：0.006 |
- |
%F.S. |
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Z向推力 |
220 |
220 |
N |
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Z向刚度 |
1.1 |
1.1 |
N/μm±20% |
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静电容量 |
θxθy：7、Z：28 |
θxθy：7、Z：28 |
μF±20% |
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承载能力 |
5 |
5 |
kg |
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空载谐振频率 |
233 |
233 |
Hz±10% |
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带载2.5kg谐振频率 |
θxθy：63、Z：68 |
θxθy：63、Z：68 |
Hz±10% |
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带载2.5kg阶跃时间 |
θxθy：200、Z：300 |
θxθy：200、Z：300 |
ms±10% |
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Z向俯仰角 |
20 |
20 |
μrad±10% |
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Z向偏航角 |
8.7 |
8.7 |
μrad±10% |
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Z向滚动角 |
14.5 |
14.5 |
μrad±10% |
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X/Y向耦合 |
θx：9.5、θy：8.7 |
θx：9.5、θy：8.7 |
μrad±10% |
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水平方向耦合 |
θx：17.3、θy：16.3 |
θx：17.3、θy：16.3 |
μrad±10% |
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重量（含线） |
2.5 |
2.5 |
kg±5% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
应用案例
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晶圆表面检测 
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