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XD500.T0S/K 大负载压电偏摆台为 θx、θy 二维偏转的压电偏摆台，它的承载能力达 10kg，是专为大负载偏转应用而设计。
产品特点
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电压与位移曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
XD500.T0S |
XD500.T0K |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy |
θx、θy |
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驱动控制 |
3 路驱动,2路传感 |
3 路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
0.23/轴（≈±48秒） |
0.23/轴（≈±48秒） |
mrad±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
0.29/轴（≈±60秒） |
0.29/轴（≈±60秒） |
mrad±10% |
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传感器 |
SGS |
- |
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闭 / 开环分辨率 |
0.2 |
0.1 |
μrad |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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推 / 拉力 |
200/20 |
200/20 |
N |
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空载谐振频率 |
1000 |
1000 |
Hz±20% |
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带载 10kg 谐振频率 |
230 |
230 |
Hz±20% |
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承载能力 |
10 |
10 |
kg |
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静电容量 |
21.5/ 轴 |
21.5/ 轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
5 |
5 |
kg±5% |
应用案例
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晶圆表面检测 
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