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XD500.T0S/K-B1 θx、θy 二维偏转 压电偏摆台
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XD500.T0S/K-B1 压电偏摆台为 θx、θy 二维偏转的压电偏摆台,它的承载能力达 10kg,是专为大负载偏转应用而设计。


产品特点


 θx、θy 二维偏转

 承载能力达 10kg

 可选配闭环反馈传感器

 适于大负载偏转应用


电压与位移曲线


产品应用


 光束偏转

 重型镜持偏转

 激光合束

 光束扫描

    技术参数

型号

XD500.T0S-B1

XD500.T0K-B1

单位

运动自由度

θx、θy

θx、θy

驱动控制

3 路驱动,2路传感

3 路驱动

标称行程范围(0~120V)

0.46/ 轴

0.46/ 轴

mrad±10%

行程范围(0~150V)

0.58/轴

0.58/轴

mrad±10%

传感器

SGS

-

闭 / 开环分辨率

0.2

0.1

μrad

闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

推 / 拉力

200/20

200/20

N

空载谐振频率

1000

1000

Hz±20%

带载 10kg 谐振频率

230

230

Hz±20%

承载能力

10

10

kg

静电容量

21.5/ 轴

21.5/ 轴

μF±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

5

5

kg±5%

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


应用案例


晶圆表面检测

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