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S22.U0S/K-A为一维θx偏摆无磁压电偏摆台，可实现0.5mrad位移。其承载可达500g。为保证无磁，其内部结构、材质已经过特殊处理。
产品特点
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 |
S22.U0S-A |
S22.U0K-A |
单位 |
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尾缀K-开环 |
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运动自由度 |
θx |
θx |
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驱动控制 |
2路驱动，1路传感 |
2路驱动 |
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标称偏转范围（0~120V） |
±0.2（≈±41秒） |
±0.2（≈±41秒） |
mrad±10% |
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Max.偏转范围（0~150V） |
±0.25（≈±52秒） |
±0.25（≈±52秒） |
mrad±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
0.013（＜0.01秒） |
0.005（＜0.01秒） |
µrad |
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闭环线性度 |
0.104 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.023 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
1800 |
1800 |
Hz±20% |
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闭环工作频率 (-3dB) |
100@400g |
- |
Hz±10% |
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阶跃时间 |
5@400g、20μrad |
2 |
ms±20% |
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静电容量 |
14 |
14 |
μF±20% |
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| 承载能力 | 500 | 500 | g | |
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材料 |
钛合金、铝合金 |
钛合金、铝合金 |
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重量（不含线） |
590 |
590 |
g±5% |
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