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S51.ZT2S/K-C系列大负载压电偏摆台是一款定制型压电偏摆台，可产生θx、θy两轴偏转及Z向直线运动，中心具有大型通孔，适用透射光等应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
S51.ZT2S-C |
S51.ZT2K-C |
单位 |
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运动自由度 |
θx、θy、Z |
θx、θy、Z |
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驱动控制 |
3路驱动，3路传感 |
3路驱动 |
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标称直线行程范围（0 ~120V） |
192 |
192 |
μm±20% |
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Max.直线行程范围（0 ~150V） |
240 |
240 |
μm±20% |
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标称偏摆角度（0 ~120V） |
±1.6/轴 |
±1.6/轴 |
mrad±20% |
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Max.偏摆角度（0~150V） |
±2/轴 |
±2/轴 |
mrad±20% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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Z向闭/开环分辨率 |
7 |
2 |
nm |
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θx、θy闭/开环分辨率 |
0.15 |
0.06 |
μrad |
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Z闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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θx、θy闭环线性度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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Z重复定位精度 |
0.3 |
- |
%F.S. |
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θx、θy重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
160 |
160 |
Hz±20% |
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最大承载 |
1.5 |
1.5 |
kg |
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静电容量 |
21.6/轴 |
21.6/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1070 |
1070 |
g±5% |
应用案例
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晶圆表面检测 
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