Types

S-closed loop

K-open loop

S37.T2SF

S37.T2KF

S37.T3SF

S37.T3KF

S37.T4SF

S37.T4KF

S37.T5SF

S37.T5KF

S37.T6SF

S37.T6KF

S37.T8SF

S37.T8KF

Units

Active axis

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

Drive control

3 driving channels 

2 sensing channels

3 driving channels 

2 sensing channels

3 driving channels 

2 sensing channels

3 driving channels 

2 sensing channels

3 driving channels 

2 sensing channels

3 driving channels 

2 sensing channels

Tilt angle(0~120V)

2.5/±1.25

4/±2

5/±2.5

6.8/±3.4

7.5/±3.75

10/±5

mrad±20%

Max.tilt angle(0~150V)

3.5/±1.75

5.5/±2.75

6.8/±3.4

9.5/±4.75

10/±5

13.5/±6.75

mrad±20%

Integrated sensor

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

Resolution

0.08（≈0.02″）

/

0.03（<0.01″）

0.15（≈0.03″）

/

0.04（<0.01″）

0.2（≈0.04″）

/

0.05（≈0.01″）

0.25（≈0.05″）

/

0.07（≈0.01″）

0.25（≈0.05″）

/

0.08（≈0.02″）

0.35（≈0.07″）

/

0.1（≈0.02″）

μrad

Linearity

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

%F.S.

Repeatability

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

0.02/-

%F.S.

Unloaded resonant frequency

6.5

6.4

6.3

6.2

6.1

6

kHz±20%

El. capacitance

3.6

5.2

7.2

9

11

14.5

μF±20%

Material

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Mass

200

230

250

275

300

350

g±5%

Platform Length

37

46

55

64

73

91

mm±0.1

Specs Sheet Downloa

Step/span>

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

S37.T2SY

S37.T2KY

S37.T3SY

S37.T3KY

S37.T4SY

S37.T4KY

S37.T5SY

S37.T5KY

S37.T6SY

S37.T6KY

S37.T8SY

S37.T8KY

单位

运动自由度

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

θX，θY

标称行程范围（0~120V）

2.5/±1.25

4/±2

5/±2.5

6.8/±3.4

7.5/±3.75

10/±5

mrad±20%

行程范围（0~150V）

3.5/±1.75

5.5/±2.75

6.8/±3.4

9.5/±4.75

10/±5

13.5/±6.75

mrad±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

闭/开环分辨率

0.25/0.1

0.4/0.15

0.5/0.25

0.65/0.3

0.75/0.35

1/0.5

μrad

闭环线性度

0.2/-

0.2/-

0.2/-

0.17/-

0.17/-

0.17/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.06/-

0.06/-

0.06/-

0.06/-

0.06/-

0.06/-

%F.S.

空载谐振频率

6.5

6.4

6.3

6.2

6.1

6

kHz±20%

静电容量

3.6

5.2

7.2

9

11

14.5

μF±20%

材质

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

Steel, titanium

重量

200

230

250

275

300

350

g±5%

偏摆台长度

37

46

55

64

73

91

mm±0.1