轴

型号

通孔尺寸[mm]

位移[μm]

分辨率[nm]

谐振频率[kHz]

承载[kg]

XY轴

P12.XY100

Φ25/Φ35

100

4

X0.18/Y0.23

0.7

P12A.XY100

45×45

100

4

X0.17/Y0.2

0.6

P12A.XY200

45×45

200

20

X0.16/Y0.14

0.4

P13A.XY90

10×10

90

0.5

0.45

≤ 0.15

P13A.XY180

15×15

180

4

-

0.2

P15.XY100S/K65

65×55

100

5

0.49

0.5

P16.XY20

Φ26

±10/ 轴

0.5

2

1

P16.XY50

ф20

50

5

0.5

1.5

P16.XY80

ф43

105/ 轴

10

0.7

0.5

P16.XY100

ф20

±50

5

0.6

1.5

P17.XY15

25×27.5

15/ 轴

0.2

1

0.2

P17.XY200

60×60

210

5

X0.24/Y0.4

1

P18.XY200

ф35

250/ 轴

5

X0.2/Y0.45

1.5

P18.XY300

ф35

±187.5/ 轴

5

X0.25/Y0.5

3

P70.XY20

Φ10

±8.5/ 轴

0.6

1.2

0.3

XZ轴

P12.XZ100

Φ25/Φ35

100

4

0.2

0.6

P12A.XZ100

45×45

100

4

X0.2/Z0.15

0.6

P12A.XZ200

45×45

200

20

X0.16/Y0.14

0.4

P18.XZ200

Φ35

200

5

X0.2/Z0.3

1